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水平儀對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備制造上使用的作用
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，水平儀是一種重要的測(cè)量工具，用于確保設(shè)備的水平度和精度。半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)水平度的要求高，因?yàn)槲⑿〉膬A斜或不平整都可能影響晶圓加工的質(zhì)量，導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。以下是關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備用水平儀的相關(guān)信息：
確保設(shè)備水平：半導(dǎo)體制造設(shè)備（如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、CVD設(shè)備等）需要在絕對(duì)水平的狀態(tài)下運(yùn)行，以保證工藝精度。
提高產(chǎn)品質(zhì)量：水平度不足可能導(dǎo)致晶圓表面不均勻，影響薄膜沉積、光刻對(duì)準(zhǔn)等關(guān)鍵工藝。
減少設(shè)備磨損：設(shè)備在不水平的狀態(tài)下運(yùn)行會(huì)增加機(jī)械部件的磨損，縮短設(shè)備壽命。
高精度：半導(dǎo)體制造對(duì)水平度的要求通常在 0.01mm/m 甚至更高。
穩(wěn)定性：水平儀需要長(zhǎng)期保持穩(wěn)定，避免因溫度變化或振動(dòng)導(dǎo)致測(cè)量誤差。
抗干擾性：半導(dǎo)體工廠環(huán)境中可能存在振動(dòng)、電磁干擾等，水平儀需要具備抗干擾能力。
易于校準(zhǔn)：水平儀需要能夠快速、準(zhǔn)確地校準(zhǔn)，以確保測(cè)量結(jié)果的可靠性。
在半導(dǎo)體設(shè)備中，常用的水平儀
原理：通過(guò)電子傳感器（如加速度計(jì)）測(cè)量水平度，并將結(jié)果顯示在數(shù)字屏幕上。
優(yōu)點(diǎn)：精度高、讀數(shù)直觀、可存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。
應(yīng)用：用于高精度設(shè)備的安裝和校準(zhǔn)。
這個(gè)兩軸數(shù)字水平（有線）是高精度和輕量級(jí)水平。與常規(guī)級(jí)別相比，它可以以數(shù)字方式顯示，從而使現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整非常容易。另外，顯示和級(jí)別通過(guò)有線連接連接，因此可以從距離進(jìn)行測(cè)量。因?yàn)樗禽p巧的，所以它也可以在精致的區(qū)域（例如處理晶圓的區(qū)域）進(jìn)行測(cè)量。氣泡出現(xiàn)在監(jiān)視器屏幕上，您可以通過(guò)查看氣泡型水平來(lái)調(diào)整它們。由于以數(shù)字方式顯示它，因此操作員沒(méi)有讀取變化。
在垂直間距狹窄的區(qū)域也可以進(jìn)行水平觀測(cè)！
| 物品 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 傳感器部分 | 線性 - 角度 | x方向±0.3°方向±0.3 ver |
| 測(cè)量分辨率 | 0.0002DEG | |
| 零點(diǎn)可重復(fù)性精度 | ±0.001度或以下 | |
| 響應(yīng)速度 | 50毫秒或更少 | |
| 工作溫度 | -10℃至 +50℃ | |
| 主體 | microcom | 32位 |
| A/D部門 | 14位 | |
| 測(cè)量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D分辨率 | 0.000025度 | |
| 顯示單元 | 0.0001度 | |
| 通過(guò)范圍設(shè)定范圍 | 0.0001度 | |
| 范圍切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| 超出顯示 | 超過(guò)0.3度 | |
| 功能 | 傳感器連接數(shù) | 1 ch |
| 顯示部分 | 4.3英寸顏色LCD觸摸面板 | |
| 480 x 272點(diǎn) | ||
| 電源 | 專用AC適配器DC6V/2A | |
| 4個(gè)AA電池（1.5V） | ||
| 外部尺寸 | 監(jiān)視器 | W96 x D35 x H145毫米 |
| 傳感器（基于SUS） | φ50×H19毫米 | |
| 電纜 | 2m | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392 g |
| 傳感器 | 70 g | |
| 配件 | 4個(gè)AAA電池（1.5V） | |
| 專用AC適配器DC6V/2A | ||
| 操作說(shuō)明 | ||
| 保修單 |
準(zhǔn)備工作：清潔設(shè)備底座和水平儀，確保測(cè)量面平整。
初步調(diào)平：使用氣泡水平儀進(jìn)行初步調(diào)平。
精確測(cè)量：使用電子水平儀或激光水平儀進(jìn)行高精度測(cè)量。
調(diào)整設(shè)備：根據(jù)水平儀的讀數(shù)調(diào)整設(shè)備底座的調(diào)平螺絲。
驗(yàn)證校準(zhǔn)：重復(fù)測(cè)量，確保水平度達(dá)到要求。
記錄數(shù)據(jù)：保存測(cè)量結(jié)果，便于后續(xù)維護(hù)和檢查。
定期校準(zhǔn)：水平儀需要定期校準(zhǔn)，以確保測(cè)量精度。
避免振動(dòng)：在使用和存放過(guò)程中，避免水平儀受到劇烈振動(dòng)。
溫度控制：水平儀對(duì)溫度敏感，應(yīng)在恒溫環(huán)境下使用。
清潔保養(yǎng)：保持水平儀的清潔，避免灰塵或油污影響測(cè)量結(jié)果。
