內(nèi)置真空泵：Shinkuu MSP-1S濺射儀如何重新定義SEM樣品制備效率

發(fā)布日期：2025-09-25      瀏覽次數(shù)：149

在電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室里，每一寸空間都價(jià)值千金。傳統(tǒng)濺射設(shè)備往往需要額外配置真空泵、連接復(fù)雜的管道系統(tǒng)，不僅占用寶貴空間，還增加了安裝與維護(hù)的復(fù)雜性。

日本Shinkuu MSP-1S磁控離子濺射儀以其高度集成的一體化設(shè)計(jì)，內(nèi)置真空泵系統(tǒng)，改變了這一現(xiàn)狀，為SEM樣品制備帶來(lái)了革命性的便捷體驗(yàn)。

01 一體化設(shè)計(jì)，重新定義實(shí)驗(yàn)室空間效率

MSP-1S的緊湊型設(shè)計(jì)是工程學(xué)的典之作。尺寸僅為20cm×35cm×34cm，重量14kg，這一精巧體型使其能夠輕松適應(yīng)任何實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

與傳統(tǒng)濺射設(shè)備相比，MSP-1S節(jié)省了近40%的占地面積，讓有限的實(shí)驗(yàn)室空間得到優(yōu)利用。

內(nèi)置真空泵系統(tǒng)是MSP-1S的核心創(chuàng)新。這一設(shè)計(jì)消除了外接真空泵的需要，避免了復(fù)雜的管道連接和額外的設(shè)備購(gòu)置成本。用戶不再需要為真空泵尋找安置空間，也無(wú)需處理泵與主機(jī)之間的連接問(wèn)題。

真正實(shí)現(xiàn)了“開(kāi)箱即用"的便捷體驗(yàn)。設(shè)備放置、電源連接、樣品放置、參數(shù)設(shè)定——簡(jiǎn)單的四步操作即可開(kāi)始樣品制備工作。

02 內(nèi)置真空泵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)與操作簡(jiǎn)便性

內(nèi)置真空泵不僅節(jié)約空間，更帶來(lái)了性能上的顯著提升。由于泵與濺射腔室的高度集成，真空建立時(shí)間大幅縮短，減少了樣品準(zhǔn)備的整體周期。

從啟動(dòng)到達(dá)到工作真空度，MSP-1S僅需幾分鐘時(shí)間，比傳統(tǒng)系統(tǒng)快50%以上。

操作流程的簡(jiǎn)化是另一大亮點(diǎn)。傳統(tǒng)的濺射系統(tǒng)需要分別操作主機(jī)和外部真空泵，而MSP-1S通過(guò)一體化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了單點(diǎn)操作。

用戶只需設(shè)置涂層時(shí)間，按下開(kāi)始按鈕，設(shè)備即可自動(dòng)完成抽真空、濺射和排氣全過(guò)程。

這種操作上的簡(jiǎn)化大大降低了技術(shù)門(mén)檻，即使是新操作員也能在經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)短培訓(xùn)后獨(dú)立完成高質(zhì)量的樣品制備。對(duì)于教學(xué)實(shí)驗(yàn)室或需要頻繁更換操作人員的環(huán)境來(lái)說(shuō)，這一優(yōu)勢(shì)尤為明顯。

03 專為SEM樣品制備的優(yōu)化設(shè)計(jì)

MSP-1S的每一個(gè)設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)都圍繞著SEM樣品制備的特殊需求而優(yōu)化。緊湊的體型并不意味著性能妥協(xié)，相反，它集成了專業(yè)級(jí)濺射系統(tǒng)的所有關(guān)鍵功能。

設(shè)備采用磁控濺射技術(shù)，確保薄膜厚度均勻性和顆粒分布一致性，為高質(zhì)量SEM成像奠定基礎(chǔ)。

內(nèi)置真空泵系統(tǒng)特別針對(duì)SEM實(shí)驗(yàn)室的高通量需求進(jìn)行了優(yōu)化。其快速的抽氣速度和穩(wěn)定的真空性能，使得設(shè)備能夠高效處理批量樣品，滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體和材料研究實(shí)驗(yàn)室對(duì)高效率的需求。

針對(duì)不同的SEM觀察需求，MSP-1S支持多種靶材選擇，包括金、金鈀合金、鉑等。內(nèi)置的靶材更換機(jī)制簡(jiǎn)單快捷，使一臺(tái)設(shè)備能夠滿足多樣化的樣品制備需求。

04 實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景與用戶價(jià)值

在半導(dǎo)體失效分析實(shí)驗(yàn)室，技術(shù)人員經(jīng)常需要快速制備大量樣品進(jìn)行缺陷檢測(cè)。MSP-1S的緊湊設(shè)計(jì)和內(nèi)置真空泵系統(tǒng)使得設(shè)備可以直接安置在SEM旁邊，實(shí)現(xiàn)樣品制備與觀察的無(wú)縫銜接。

“過(guò)去我們需要將樣品送到另一個(gè)房間進(jìn)行鍍膜，現(xiàn)在只需在SEM旁就能完成全過(guò)程，效率提升了至少三倍。"一位晶圓廠質(zhì)量控制主管表示。

對(duì)于大學(xué)教學(xué)實(shí)驗(yàn)室，空間有限且學(xué)生操作水平不一，MSP-1S的操作安全性和簡(jiǎn)易性帶來(lái)了顯著優(yōu)勢(shì)。其一體化設(shè)計(jì)減少了錯(cuò)誤操作的可能性，內(nèi)置安全聯(lián)鎖裝置確保設(shè)備只有在真空達(dá)到要求時(shí)才會(huì)啟動(dòng)濺射過(guò)程。

在私營(yíng)研發(fā)中心，設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性是首要考量。MSP-1S的內(nèi)置真空泵系統(tǒng)經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)，維護(hù)周期長(zhǎng)，故障率低，確保了研究工作的連續(xù)性和數(shù)據(jù)的可靠性。

05 為何選擇MSP-1S：核心優(yōu)勢(shì)總結(jié)

選擇MSP-1S意味著選擇了一種更高效、更智能的SEM樣品制備方式。其內(nèi)置真空泵的緊湊型設(shè)計(jì)不僅解決了實(shí)驗(yàn)室空間緊張的問(wèn)題，更重新定義了工作流程。

空間節(jié)約：比傳統(tǒng)系統(tǒng)節(jié)省40%占地面積，釋放寶貴實(shí)驗(yàn)室空間。
時(shí)間效率：快速抽真空設(shè)計(jì)，樣品制備周期縮短50%以上。
操作簡(jiǎn)便：一鍵式操作，降低技術(shù)門(mén)檻，減少培訓(xùn)成本。
靈活適配：可輕松安置于SEM旁，實(shí)現(xiàn)制備-觀察一體化工作流程。

隨著半導(dǎo)體和材料科學(xué)向納米尺度邁進(jìn)，對(duì)樣品制備效率和質(zhì)量的要求日益提高。Shinkuu MSP-1S以其創(chuàng)新的內(nèi)置真空泵設(shè)計(jì)和緊湊型結(jié)構(gòu)，為現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室提供了面向未來(lái)的解決方案。