日本東麗toray半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等用氧氣分析儀

發(fā)布日期：2020-12-21      瀏覽次數(shù)：1861

日本東麗toray半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等用氧氣分析儀



日本東麗氧化鋯式氧氣濃度計(jì)的測(cè)量原理

兩側(cè)帶有電極的氧化鋯陶瓷具有在高溫下使一個(gè)電極上的氧分子電離并在另一電極上使氧離子返回到氧分子的特性。該特性稱(chēng)為離子傳導(dǎo)，并且隨著氧化鋯陶瓷的兩側(cè)的氧濃度差的增加，離子傳導(dǎo)的程度增加。在此期間，電子在兩個(gè)電極之間傳輸，并且可以提取離子傳導(dǎo)程度（=氧化鋯陶瓷兩側(cè)的氧濃度差）作為兩個(gè)電極之間的電動(dòng)勢(shì)大小。如下圖所示，該電動(dòng)勢(shì)可以根據(jù)Nernst的理論公式獲得穩(wěn)定值，因此Toray氧化鋯傳感器可以顯示穩(wěn)定可靠的氧氣濃度值。

使用氧化鋯血氧儀的一般注意事項(xiàng)

氧化鋯氧氣計(jì)在約700°C的高溫下運(yùn)行。因此，在以下情況下可能無(wú)法測(cè)量，并且傳感器的壽命可能會(huì)受到影響。

• 由于它在氧氣計(jì)的內(nèi)部有一個(gè)電爐，因此不能在防爆區(qū)域使用。
• 如果可燃?xì)怏w（例如氫氣，甲烷，酒精，一氧化碳等）進(jìn)入氧氣表，則會(huì)引起燃燒反應(yīng)并引起測(cè)量誤差。
• 有機(jī)二氧化硅（用作密封材料等）會(huì)導(dǎo)致傳感器性能下降。（這是傳感器變質(zhì)的z常見(jiàn)原因之一。
• 鹵素（尤其是氯）會(huì)導(dǎo)致傳感器故障。
• 間歇性污染高熱量卡路里的物質(zhì)（例如一氧化碳）會(huì)導(dǎo)致熱歷史并導(dǎo)致傳感器故障。
• 如果混入大量腐蝕性氣體（例如Nox和Sox），則會(huì)發(fā)生傳感器故障。
• 氟利昂氣體可能導(dǎo)致高溫下的分離反應(yīng)并導(dǎo)致傳感器性能下降。
• 水滴，灰塵和薄霧可能會(huì)損壞傳感器，縮短其壽命并引起錯(cuò)誤。測(cè)量包含這些氣體的氣體時(shí)，請(qǐng)先將其除去，然后讓其流過(guò)氧氣濃度計(jì)。購(gòu)買(mǎi)前，請(qǐng)與我們聯(lián)xi以獲取清除方法。

MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860

氧氣表MS-500

• z多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
• 可以顯示從ppm級(jí)到100的多種濃度。
• 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
• 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
• 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器，以進(jìn)一步提高耐用性。

氧氣計(jì)LC-450A，LC-450D

• 
  可以顯示很寬的濃度范圍，從測(cè)量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100。
• 改進(jìn)的傳感器耐用性
  氧氣傳感器經(jīng)過(guò)特殊處理，以提高其耐用性。
• 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
  * LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng)
• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統(tǒng)型號(hào)還要短，并且不會(huì)占用太多空間。
• 符合RoHS的產(chǎn)品
• CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
  EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003

氧氣計(jì)LC-860

• 低濃度測(cè)量
  可以測(cè)量ppb到100
• 操作簡(jiǎn)便
  按功能可輕松操作
• 吹掃功能
  比較氣體更穩(wěn)定，測(cè)量更精que（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格）
• 高可靠性傳感器傳感器
  內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理（可選）