excimer等離子設(shè)備臭氧分解裝置OZFDT型 

特征

• 分解桌面紫外線照射設(shè)備產(chǎn)生的臭氧廢氣。

• 即使在沒有局部排氣設(shè)備的環(huán)境中也能對臭氧進(jìn)行解毒。

• 非金屬催化劑分解高濃度臭氧氣體

• 廢氣濃度 0.1ppm 以下

• 長壽命設(shè)計(jì)催化劑壽命 1 年

臭氧用于殺菌、除臭、清洗、重整等時(shí)，臭氧氣體難以排出。如果直接用完，管道和風(fēng)扇會(huì)腐蝕，很危險(xiǎn)。如果排到外面，它會(huì)擴(kuò)散，但不安全，因?yàn)榕艢饪诟浇某粞鯕怏w濃度很高。在工廠，酸廢氣用抽氣機(jī)或洗滌器處理，但在工廠外，通常用臭氧過濾器排除。
傳統(tǒng)的臭氧過濾器分解器需要大容量、成本高且占用空間大，才能在短時(shí)間內(nèi)處理高濃度臭氧氣體。為了配合小型臭氧利用裝置使用臭氧過濾器，通常在裝置內(nèi)部放置臭氧過濾器，循環(huán)直至臭氧氣體被稀釋。

我們在半導(dǎo)體制造設(shè)備等方面積累了豐富的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，盡管臭氧過濾器尺寸小，但由于其高性能，因此無需在設(shè)備中循環(huán)臭氧氣體即可一次性排出的廢氣濃度為0.1 ppm或更少。我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)并銷售了帶有內(nèi)置排氣扇的臭氧分解裝置。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是不需要循環(huán)處理，縮短了整個(gè)設(shè)備的處理時(shí)間。此外，由于臭氧分解過濾器在設(shè)備外部，因此不存在臭氧過濾器中使用的活性炭和重金屬催化劑等成分導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部再污染的結(jié)構(gòu)可能性。單程臭氧消減裝置是一種超潔凈設(shè)計(jì)理念。

excimer等離子設(shè)備臭氧分解裝置OZFDT型 

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