日本shinkuu φ200mm/Pt 鍍膜機(jī)MSP-8min

訪問次數(shù)：1872

更新日期：2025-05-02

簡要描述：

日本shinkuu φ200mm/Pt 鍍膜機(jī)MSP-8min
該設(shè)備是帶有磁控管靶材的金屬鍍膜設(shè)備。用于8英寸晶圓等大面積樣品的同時(shí)加工和多個(gè)樣品的加工。

詳細(xì)介紹

日本shinkuu φ200mm/Pt 鍍膜機(jī)MSP-8min

該設(shè)備是帶有磁控管靶材的金屬鍍膜設(shè)備。用于8英寸晶圓等大面積樣品的同時(shí)加工和多個(gè)樣品的加工。
MSP-8in的靶電極沿靶金屬表面形成多個(gè)同心磁場(chǎng)，通過在該磁場(chǎng)中俘獲電子，提高了濺射靶金屬的等離子體離子密度。磁場(chǎng)的強(qiáng)度被配置為使得被粘金屬膜的厚度從靶的中心到外周是均勻的。

日本shinkuu φ200mm/Pt 鍍膜機(jī)MSP-8min

主要產(chǎn)品規(guī)格

物品	規(guī)格
電源	AC100V（單相100V）15A 3芯插頭帶地線
設(shè)備尺寸	寬 450 毫米，深 400 毫米，高 372 毫米（設(shè)備重量 36.9 公斤）
旋轉(zhuǎn)泵	寬 234 毫米，深 500 毫米，高 264 毫米 G-101D（重量 25 公斤）
涂裝室尺寸	內(nèi)徑 230 毫米，高度 60 毫米
目標(biāo)電極尺寸	直徑200mm
樣品臺(tái)尺寸	直徑210mm
樣品尺寸（晶圓）	直徑200mm
涂層不均勻	± 10% 或更少

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：MSP-20MT日本shinkuu全自動(dòng)φ100mm金屬鍍膜設(shè)備
下一篇：日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

日本shinkuu φ200mm/Pt 鍍膜機(jī)MSP-8min

主要產(chǎn)品規(guī)格

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：